Example実例紹介

実例紹介 基板检测用自动对焦单元

基板检测用自动对焦单元

分类 其他
工件 液晶基板・薄膜等
检测内容 使用IR对液晶屏幕进行高速检测
应用 摄像机(自动对焦)
以液晶玻璃基板、薄膜、金属等为对象的自动对焦单元。可利用IR高速且高精度进行对焦调整、摄像。

【规格】
・距离测量方式 IR 或 可见光 类型
・应对倍率
・搜索速度  0.3秒 (物镜20倍 搜索幅度 ±250μ)

与显微镜单元组合,从而使高速且低价格的自动对焦成为可能。使用自主开发的运算处理和CCD线性传感器,强化以往被认为适合于玻璃和透明体的线性传感器方式的性能。实现了相当于原来2倍以上的速度和追踪能力。